无尘车间洁净度等级标准ISO14644根据悬浮颗粒浓度的指标，划分洁净室（区）和相关控制环境中空气无尘车间的洁净度等级，仅考虑粒径限值（低限）0.1um～0.5um范围内累计分布的粒子群。根据粒径，可分为常规粒子(0).1um～0.5um），超微粒子(0).1um）和宏粒子(>5.0um）。
空气无尘车间洁净度分级标准：ISO14644-1（国际标准）
空气无尘车间洁净度分级标准：GB/T16292-1996(中国标准)
无尘室等级说明
用户在向供应商开放无尘室时，有以下提示。
一是等级定义模式如下：
ClassX(atYμm)
X是无尘室的等级，如100或100000等，Y是粒径如0.2μm,0.5μm等等，可以重新选择。这意味着用户规定无尘室的颗粒含量必须满足这个等级的限制。这可以减少争端，以下是几个例子：
Class1(0.1μm,0.2μm,0.5μm)
Class100(0.2μm,0.5μm)
Class100(0.1μm,0.2μm,0.5μm)
在Classes100(M3.5)andGreater(Class100，1000，10000...)，一般看一个粒径。在那里。ClassesLessthan100(M3.5)(Class10，1...)，一般要看多少粒径。
第二个技巧是规定无尘室的状态，例如：
ClassX(atYμm)，At-rest
供应商非常清楚无尘室应该在At-rest状态下验收。
第三个技巧是自定微粒浓度上限，一般在As-built当无尘室非常干净颗粒控制能力测试不容易，此时可以简单压低验收上限，如：
Class10000(0.3μm<=10000)，As-built
Class10000(0.5μm<=1000)，As-built
这样做的目的是确保无尘室在Operational状态时，仍有足够的颗粒控制能力。