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光学电子无尘车间设计方案。

无尘车间施工的原则是可靠性、实用性和规范性,即施工标准和工艺参数不仅要满足使用要求,还要严格执行施工质量验收和无尘车间施工质量验收的双重标准。以有机光电子设备无尘车间的施工过程为例,施工过程中必须逐项验收进场材料,注意检查涉及安全和功能性产品的保修,及时跟踪隐蔽工程的完成情况,有效保证无尘车间的施工质量。

1无尘车间净化系统。

空气净化技术的实施方案主要涉及空调机组的安装和送回风管的施工,重点关注管道施工和风量调试标准。例如,送风管道的保温效果直接影响空调效率,外风机铜管的切割焊接工艺直接影响制冷剂的循环;此外,通风次数和送风量的调整直接影响清洁度等级。

2无尘车间污染源区应有效分隔。

3.2承重面改造。

无尘车间除水管采用埋地方式,大部分功能管通过天花板连接到各工艺要求点。改造项目所在房屋顶面为三明治板,不能承受多个专业工艺管道。无尘车间施工单位应制定顶面加固方案,通过吊装槽钢和铺设钢板实现无尘车间顶面的安全。

薄膜间运行中有若干高质量的高真空镀膜仪等工艺设备,布局设计中会集中放置有承重要求的仪器。改造工程所在阶梯教室的地面找平后露出地板,不能保证局部承重1000kg/m2。建筑设计公司制定地板加固方案,通过架设钢梁和覆盖钢板来实现洁净室的地面安全。

3.3集中供气系统。

薄膜与分析之间需要特殊的高压气体,如高纯氮、氧、氮、氮氢混合物,并建立相应的管道供应到每个工艺需求点。气路管径根据流量、压力和距离确定,气路阀根据供气方式、气体类型和管道压力确定功能部件,遵循安全、美观、维护方便的原则。

有机光电器件洁净室的高纯氮对流量、压力和总供气量有要求,采用半自动切换汇流排气和余量报警装置进行双重保障;氧气、氮氢混合物增加气体回火防护装置,气瓶采用防爆墙隔离,安全双重保障。此外,气路施工采用自动焊接机,确保管道无残留、零泄漏,汇流排气增加吹扫装置,确保更换气瓶时进入高压软管的少量空气排出。

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